| 激光脉冲和工件参数对激光微孔加工质量的影响 |
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| 引用本文： | 晏绪光,高文斌,杨水其,裘明信.激光脉冲和工件参数对激光微孔加工质量的影响[J].应用激光,1994(3). |
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| 作者姓名： | 晏绪光 高文斌 杨水其 裘明信 |
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| 作者单位： | 杭州电子工业学院 |
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| 摘 要： | 研究了激光功率、重复频率、焦点位置以及光束质量对激光打孔质量的影响。通过调整和优化激光脉冲、聚焦光学系统和工件参数，在０．１～２ｍｍ厚的不同材料上打出孔径０．０６～０．２ｍｍ的精密小孔。利用ＴＥＭ００模激光脉冲和望远镜扩束后再聚焦的办法，加工出孔径２５～３０ｍｍ的微孔。
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| 关 键 词： | 激光打孔，微孔，参数优化 |
Effect of Laser Pulse and Workpiece Parameters on Microhole Quality in Laser drilling |
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| Yan Xuguang,Gao Wenbin,Yang Shuiqi,Qiu MingXin.Effect of Laser Pulse and Workpiece Parameters on Microhole Quality in Laser drilling[J].Applied Laser,1994(3). |
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| Authors: | Yan Xuguang Gao Wenbin Yang Shuiqi Qiu MingXin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser drilling microhole optimum of parameters |
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