| 升压法测量小孔分子流流导的方法研究 |
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| 引用本文： | 郭美如,李得天.升压法测量小孔分子流流导的方法研究[J].真空与低温,2007,13(3):145-150. |
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| 作者姓名： | 郭美如 李得天 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 在真空系统中,流导作为主要性能参数需要精确测量.介绍了升压法测量小孔分子流流导的测量原理、测量方法、计算公式和不确定度的评定方法.通过对一小孔流导实际测量和不确定度评定,得出升压法测量流导的合成标准不确定度为2.0%,并用线性真空计测量流导的方法对同一小孔的流导测量结果进行了验证.升压法测量流导的方法简单、测量方便,适合于流导的快速测量.
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| 关 键 词： | 真空 小孔流导 升压法 不确定度评定 |
| 文章编号： | 1006-7086(2007)03-0145-06 |
| 修稿时间： | 2007年8月13日 |
STUDY ON METHOD OF MEASURING ORIFICE MOLECULAR FLOW CONDUCTANCE BY INCREASING PRESSURE |
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| GUO Mei-ru,LI De-tian.STUDY ON METHOD OF MEASURING ORIFICE MOLECULAR FLOW CONDUCTANCE BY INCREASING PRESSURE[J].Vacuum and Cryogenics,2007,13(3):145-150. |
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| Authors: | GUO Mei-ru LI De-tian |
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