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| N离子注入金刚石膜方法合成的CN_x膜的成键结构 | |
| 引用本文： | 曹培江,姜志刚,李俊杰,金曾孙,王欣,郑伟涛,牟宗信,董闯,李哲奎.N离子注入金刚石膜方法合成的CN_x膜的成键结构[J].吉林大学学报(理学版),2001(2). |
| 作者姓名： | 曹培江 姜志刚 李俊杰 金曾孙 王欣 郑伟涛 牟宗信 董闯 李哲奎 |
| 作者单位： | 1. 吉林大学 2. 吉林大学材料科学系, 3. 大连理工大学, 4. 延边大学理工学院物理系, |
| 基金项目： | 中国教育部优秀中青年项目，吉林省科学技术委员会计划发展基金!项目 (批准号 :980 5 44) |
| 摘 要： | 使用 N离子 (能量分别为 1 0 ke V,60 ke V)注入金刚石膜方法合成 CNx 膜 ,用 Raman光谱和 XPS光谱研究注入前后金刚石膜的成键结构 .结果表明 ,金刚石膜经 1 0 ke V N离子注入后 ,在 Raman光谱中出现一个较强的金刚石峰 (1 332 cm- 1)和一个弱的石墨峰 (G带 ,～ 1 550 cm- 1) .而 XPS N1s资料显示两个主峰分别位于～ 398.5e V和～ 40 0 .0 e V.金刚石膜经 60 ke V N离子注入后 ,N1s XPS光谱中的主峰位于～ 40 0 .0 e V;相应地 ,Raman光谱中的石墨峰变得较强 .通过比较 ,对注入样品的 XPS谱中 N1s的成键结构作如下归属 :～ 40 0 .0e V属于 sp2 C— N键 ;～ 398.5e V则属于 sp3C—N键 . |
| 关 键 词： | N离子注入 金刚石 成键结构 |
Bonding Structure of CN_x Films Synthesized by Implanting Nitrogen into Diamond Films |
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| CAO Pei-jiang,JIANG Zhi-gang,LI Jun-jie,JIN Zeng-sun.Bonding Structure of CN_x Films Synthesized by Implanting Nitrogen into Diamond Films[J].Journal of Jilin University: Sci Ed,2001(2). | |
| Authors: | CAO Pei-jiang JIANG Zhi-gang LI Jun-jie JIN Zeng-sun |
| Abstract: | |
| Keywords: | N-implantation diamond bonding structure |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
