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| 全新轻型激光干涉仪测量系统——XL-80的性能、易用性和便携性 | |
| 引用本文： | 雷尼绍.全新轻型激光干涉仪测量系统——XL-80的性能、易用性和便携性[J].上海计量测试,2007,34(2):34-34. |
| 作者姓名： | 雷尼绍 |
| 作者单位： | 雷尼绍(香港)有限公司 |
| 摘 要： | 在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来随着自动化运动系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。 |
| 关 键 词： | 干涉仪测量系统 激光干涉仪 性能 便携性 易用性 轻型 运动系统 激光系统 |
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