| 用溶胶—凝胶法制备SiO2薄膜 |
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| 引用本文： | 张志波,角田范义.用溶胶—凝胶法制备SiO2薄膜[J].无机材料学报,1993,8(1):125-128. |
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| 作者姓名： | 张志波 角田范义 |
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| 作者单位： | 大连理工大学土木系，大连理工大学土木系，日本国丰桥技术科学大学，日本国丰桥技术科学大学 116024，116024 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 溶胶－凝胶法 薄膜 二氧化硅 |
Preparation of SiO_2 Thin Films on Microscope Slides by Sol-gel Process |
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| Zhang Zhibo Wang Lijiu.Preparation of SiO_2 Thin Films on Microscope Slides by Sol-gel Process[J].Journal of Inorganic Materials,1993,8(1):125-128. |
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| Authors: | Zhang Zhibo Wang Lijiu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Tetraethylorthosilicate SiO_2 film Sol-gel process |
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