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| ICP光源中负载匹配箱的设计 | |
| 引用本文： | 王超,金星,石宝松,杜江.ICP光源中负载匹配箱的设计[J].现代制造工程,2010(9). |
| 作者姓名： | 王超 金星 石宝松 杜江 |
| 作者单位： | 1. 中国地质大学(武汉)机械与电子信息学院,武汉,430074;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033 2. 中国地质大学(武汉)机械与电子信息学院,武汉,430074 3. 北京海光仪器公司,北京,100016 |
| 基金项目： | 国家十一五科技支撑计划项目 |
| 摘 要： | 阐述电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)光源中负载匹配箱的设计方案,对等离子体产生过程中的负载阻抗变化进行深入分析。利用ADS软件对ICP光源负载阻抗的电路模型进行阻抗匹配仿真,根据仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制策略和参数范围。在多次等离子体的点火实验中,成功将氩气电离,顺利产生并稳定维持了环形球状等离子体火焰。 |
| 关 键 词： | ICP光源 阻抗匹配 等离子体 |
Design of load matching box of ICP source |
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| WANG Chao,JIN Xing,SHI Bao-song,DU Jiang.Design of load matching box of ICP source[J].Modern Manufacturing Engineering,2010(9). | |
| Authors: | WANG Chao JIN Xing SHI Bao-song DU Jiang |
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| Keywords: | |
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