| 调制结构对TiN/ZrN纳米多层膜的表面形貌、生长行为及力学性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 徐晓明,辛萍,王娟,赵阳,张庆瑜.调制结构对TiN/ZrN纳米多层膜的表面形貌、生长行为及力学性能的影响[J].真空科学与技术学报,2006,26(Z1):23-27. |
| |
| 作者姓名： | 徐晓明 辛萍 王娟 赵阳 张庆瑜 |
| |
| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合资助项目 |
| |
| 摘 要： | 利用射频反应磁控溅射方法,设计并制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜.利用原子力显微镜、X射线衍射仪和纳米压痕仪对多层膜的表面形貌、微观结构和力学性能进行了系统表征.研究结果表明调制结构影响着薄膜的择优生长取向、沉积速率和表面形貌;在调制周期为7nm～26nm的范围内,随调制周期的增加,TiN/ZrN多层膜的织构取向有从(100)面向(111)面转变的趋势;TiN和ZrN层的沉积速率随调制周期的变化而变化.在调制周期为15nm左右时,表面粗糙度最小,减小和增加调制周期均导致粗糙度的增加.力学性能分析表明TiN/ZrN多层膜的硬度和弹性模量均高于单一TiN和ZrN的硬度和弹性模量,且随着调制周期的减小有逐渐增加的趋势.此外,根据调制结构和力学性能的分析结果,讨论了TiN/ZrN纳米多层膜的硬化机制.
|
| 关 键 词： | TiN/ZrN多层膜 表面形貌 生长行为 力学性能 |
| 文章编号： | 1672-7126(2006)增-0023-05 |
| 修稿时间： | 2005年9月1日 |
Influence of Modulation Period on Microstructures and Mechanical Properties of TiN/ZrN Multilayers |
| |
| Xu Xiaoming,Xin Ping,Wang Juan,Zhao Yang,Zhang Qingyu.Influence of Modulation Period on Microstructures and Mechanical Properties of TiN/ZrN Multilayers[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2006,26(Z1):23-27. |
| |
| Authors: | Xu Xiaoming Xin Ping Wang Juan Zhao Yang Zhang Qingyu |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
