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| 集成铁电学(Integrated Ferroetectrics)概述 | |
| 引用本文： | 任天令,魏朝刚,朱钧,刘理天,李志坚.集成铁电学(Integrated Ferroetectrics)概述[J].中国集成电路,2003(2). |
| 作者姓名： | 任天令 魏朝刚 朱钧 刘理天 李志坚 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所 |
| 摘 要： | 铁电薄膜是一种重要的功能薄膜,近年来在电子器件方面的应用取得了重要进展。随着铁电薄膜制备技术的进步,将铁电材料与工艺和传统的半导体材料和工艺相结合以实现新型微电子器件、电路和系统已经成为可能,从而导致了一门新型交叉学科—集成铁电学的诞生。 |
| 关 键 词： | 铁电薄膜 集成铁电学 |
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