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| 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室真空紫外—软X射线光学研究组简介 | |
| 引用本文： | 王占山.中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室真空紫外—软X射线光学研究组简介[J].光机电信息,1996(10). |
| 作者姓名： | 王占山 |
| 摘 要： | 应用光学国家重点实验室建立以来.真空紫外一软X射线光学研究一直是该实验室的重点发展学科之一,其研究基础深厚、特点鲜明、研究水平处于国际前沿地位,主要从事真空紫外一软X射线光学的基础研究和应用基础研究,已形成从理论到实验.从光源、光学元件和探测器研究到实用仪器开发研制的研究体系,装备有国内先进的真空紫外一软X射线波段光谱测试和光学元件及系统的加工、检测设备,具有真空紫外一软X射线光学的综合研究能力.近期的主要研究方向包括软X射线多层膜技术研究;软X射线显微成像及投影光刻技术研究;真空紫外 |
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