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| 基材硬度和涂层厚度对AlCrN多元复合纳米硬质涂层硬度的影响 | |
| 作者单位： | ;1.青岛理工大学机械工程学院 |
| 摘 要： | 采用真空阴极多弧离子镀技术制备了Al Cr N多元复合纳米硬质涂层,利用洛氏硬度计、划痕仪、HV显微硬度计、球磨仪、扫描电子显微镜、能谱仪及X射线衍射仪检测并分析了涂层膜基结合力、显微形貌、相结构以及基体硬度、涂层厚度对涂层硬度的影响。结果表明,涂层以Al Cr N/Cr N结构沉积,随着涂层厚度的增加,膜基结合强度提高。涂层表面成波纹状,有少量大颗粒,涂层内部呈Na Cl结构,含有大量呈柱状形式生长的面心立方的c-Cr N相和c-Al N相,择优取向均为(200)。同等基体硬度时,涂层厚度的增加有利于涂层硬度的提高,最佳涂层厚度为3.5~5.0μm。同等涂层厚度时,涂层硬度随着基体硬度的增加而增加,当涂层厚度低于4.0μm,基材硬度是影响涂层塑性变形抗力的主要因素。 |
| 关 键 词： | 阴极多弧离子镀 膜基结合力 涂层硬度 耐磨性 |
Effect of Substrate Hardness and Coating Thickness on the Hardness of Al Cr N |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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