| 铁电薄膜热释电非致冷红外传感器研究 |
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| 引用本文： | 刘梅冬,陈实,李元昕,曾亦可,姜胜林,邓传益,刘少波.铁电薄膜热释电非致冷红外传感器研究[J].仪表技术与传感器,2004(2):3-4,28. |
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| 作者姓名： | 刘梅冬 陈实 李元昕 曾亦可 姜胜林 邓传益 刘少波 |
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| 作者单位： | 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028);"863"计划新材料领域资助项目(2002AA325080) |
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| 摘 要： | 阐述了铁电薄膜热释电非致冷红外传感器的工作原理,对铁电薄膜材料的要求及sol-gel铁电薄膜电性能。研究了BST铁电薄膜红外传感器的制备工艺与测试方法。研制出单元和8元、9元、10元线列铁电薄膜热释电非致冷红外传感器。
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| 关 键 词： | 铁电薄膜 热释电效应 铁电材料 非致冷红外传感器 |
| 文章编号： | 1002-1841(2004)02-0003-03 |
Investigation of Ferroelectric Thin Films Uncooled Pyroelectric Infrared Sensors |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ferrelectric Thin Films BST Pyroelectric Properties Uncooled Infrared Sensors |
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