| Fabrication of a Silicon-Based Microprobe for Neural Interface Applications |
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| 作者姓名： | Sui Xiaohong Zhang Ruoxin Pei Weihu Lu Lin Chen Hongda |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点联合实验室，北京 100083;中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点联合实验室，北京 100083;中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点联合实验室，北京 100083;中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点联合实验室，北京 100083;中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点联合实验室，北京 100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
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国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用表面MEMS工艺制作了二维多通道的硅基微电极阵列,用于提取脑神经电信号.在整个工艺制作过程中需要三步光刻,制作的硅针长1.2mm,宽100μm,厚30μm,同时各个记录点的间距为200μm,可以形成良好的信号隔离.对微电极的阻抗特性进行了体外测试,结果表明,随着频率由0变为10MHz,单个记录点阻抗由14MΩ下降到1.9kΩ.将微电极黏附到印刷线路板,通过金丝压焊提取各个通道信号,大大提高了植入的可操作性以及信号提取的可靠性.
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| 关 键 词： | 微电极阵列 神经接口 MEMS工艺 microelectrode array neural interface MEMS 神经接口 硅基 电极制作 Applications Interface Neural Microprobe aids implantation stabilization print circuit board compatible changes characteristics impedance frequency in vitro testing |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)10-1703-04 |
| 收稿时间： | 4/14/2006 1:48:39 PM |
| 修稿时间： | 5/30/2006 5:16:38 PM |
Fabrication of a Silicon-Based Microprobe for Neural Interface Applications |
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| Sui Xiaohong,Zhang Ruoxin,Pei Weihu,Lu Lin,Chen Hongda.Fabrication of a Silicon-Based Microprobe for Neural Interface Applications[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(10):1703-1706. |
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| Authors: | Sui Xiaohong Zhang Ruoxin Pei Weihu Lu Lin and Chen Hongda |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microelectrode array neural interface MEMS |
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