| 热处理对Fe-O、Fe-N-O薄膜透射率的影响 |
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| 引用本文： | 崔国栋,杨川.热处理对Fe-O、Fe-N-O薄膜透射率的影响[J].功能材料,2004,35(Z1):522-524. |
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| 作者姓名： | 崔国栋 杨川 |
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| 作者单位： | 崔国栋（西南交通大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610031）;杨川（西南交通大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610031） |
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| 摘 要： | 采用二极溅射方法在玻璃基体上制备了Fe-O、Fe-N-O薄膜.在空气气氛下用不同温度对其进行了加热处理,并用紫外可见分光光度仪对热处理前后样品的透射率进行了研究.结果表明,热处理对薄膜的光学性能影响较大;N元素的存在对薄膜的光学性能有一定的影响;随着加热温度的增加透射率增加.XPS实验结果证明薄膜性能改变的原因是热处理后薄膜的成分与结构发生了明显的变化.
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| 关 键 词： | 热处理 薄膜 透射率 XPS |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-0522-03 |
| 修稿时间： | 2004年3月25日 |
Influence of heat treatment on transmissivity of Fe-O, Fe-N-O films |
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