| MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用 |
| |
| 引用本文： | 阳启明,张剑铭,杨道虹,徐晨,沈光地.MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用[J].半导体技术,2004,29(10):27-30,34. |
| |
| 作者姓名： | 阳启明 张剑铭 杨道虹 徐晨 沈光地 |
| |
| 作者单位： | 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京,100022 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金
,
北京市自然科学基金
,
北京市教委科技发展计划项目 |
| |
| 摘 要： | 随着微探测器的广泛应用,MEMS技术因其微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,被越来越多地应用于微探测器的制造工艺中,为该领域的研究提供了新途径.本文简要介绍了MEMS技术的工艺及其主要特点,并对MEMS技术在非制冷红外探测器研制方面的应用作了比较详细的阐述.
|
| 关 键 词： | 微电子机械系统 红外探测器 非制冷 MEMS 非制冷 红外探测器 应用 Infrared Detector Fabrication Technology 阐述 比较 制造工艺 研究 成本 工艺兼容性 可集成 智能 |
| 文章编号： | 1003-353X(2004)10-0027-04 |
Application of MEMS Technology to Fabrication of Uncooled Infrared Detector |
| |
| YANG Qi-ming,ZHANG Jian-ming,YANG Dao-hong,XU Chen,SHEN Guang-di.Application of MEMS Technology to Fabrication of Uncooled Infrared Detector[J].Semiconductor Technology,2004,29(10):27-30,34. |
| |
| Authors: | YANG Qi-ming ZHANG Jian-ming YANG Dao-hong XU Chen SHEN Guang-di |
| |
| Abstract: | With wide applications of micro-detectors, MEMS technology is more and more used in the manufacture of micro-detectors. It provides micro-detectors with miniature, smart, actuating, integrated, low cost and technology compatible characteristics, and has shown to be an absorbing way for detectors research field. The MEMS technology and its main characteristics are briefly described, and then its application in uncooled infrared detector is introduced in details. |
| |
| Keywords: | MEMS infrared detector uncooled |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
