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| 基于计算机视觉的MEMS测试系统 | |
| 引用本文： | 冯亚林,栗大超,金翠云,郝一龙,张大成,靳世久.基于计算机视觉的MEMS测试系统[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 冯亚林 栗大超 金翠云 郝一龙 张大成 靳世久 |
| 摘 要： | 根据MEMS测试的要求,设计并实现了一种基于计算机视觉的MEMS测试系统.该系统是一个典型的光、机、电、算集成的MEMS测试系统,已应用于MEMS微结构几何尺寸和动态特性等的测量.因采用了亚像元定位技术,系统具有较高的测量精度.应用表明该系统具有较好的灵活性和扩充性,测量速度快,测试简便,有较好的工程应用价值. |
| 关 键 词： | MEMS 计算机视觉 MEMS测试 图像测量 |
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