稳定和提高InSb红外探测器真空度的研究——锆石墨吸气剂在红外探测器中的应用

前言目前,在锑化铟红外探测器中存在的一个较实出的问题是真空度下降,严重影响探测器的可靠性。在77K温度下工作的锑化铟光敏件,被封装在由宝石片作为信号透过窗口的杜瓦瓶真空夹层的基座上,灌入LN_2(液氮)后基座冷却,以保证工作温度。过去由于杜瓦瓶真空夹层的真空度下降破坏了真空绝热状态,造成窗口出现冰霜现象,致使光敏件无法接收信号而探测器报废。杜瓦瓶结构见图(1)(2)。