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| 测量膜厚的偏光解析法 | |
| 引用本文： | 李志成,王成东.测量膜厚的偏光解析法[J].激光与红外,1983(5). |
| 作者姓名： | 李志成 王成东 |
| 作者单位： | 大连化物所，大连化物所 |
| 摘 要： | 所谓偏光解析法就是利用椭圆仪研究偏振光经团体或膜层表面反射后偏振态的变化。它不仅可用来测定薄膜的光学常数,固体表面诸如氧化、腐蚀、出现过渡层等稳态之变化,配上电子计算机还可监控膜厚观察老化时效等瞬态之变化。现在它已发展成为研究表面科学的有力手段。但此法计算复杂,理论性较强。本文介绍用国产JT75-1型椭圆仪测量玻璃基底(n=1.52)上透明膜的光学常数的体会。偏光解析法的理论基础单色He-Ne激光束经起偏器、四分之一波片后,就转变为椭圆偏振光,即振幅端点在不断变化的线偏振光,它在P·s参考系中的分量 |
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