|
|||||
|
|
| 硅烷对纳米硅薄膜微结构和光学性能的影响 | |
| 引用本文： | 丁建宁,高晓妮,袁宁一,程广贵,郭立强.硅烷对纳米硅薄膜微结构和光学性能的影响[J].江苏大学学报(自然科学版),2010,31(3). |
| 作者姓名： | 丁建宁 高晓妮 袁宁一 程广贵 郭立强 |
| 作者单位： | 1. 江苏大学,微米纳米科学技术研究中心,江苏,镇江,212013;江苏工业学院,低维材料微纳器件与系统研究中心,江苏,常州,213164;常州市新能源工程重点实验室,江苏,常州,213164 2. 江苏大学,微米纳米科学技术研究中心,江苏,镇江,212013 3. 江苏工业学院,低维材料微纳器件与系统研究中心,江苏,常州,213164;常州市新能源工程重点实验室,江苏,常州,213164 |
| 基金项目： | 江苏省教育厅“青蓝工程”项目(2008-04);;常州市工业科技攻关专项(CE2008014);;江苏省科技支撑计划项目(BE20080030,BE2009028) |
| 摘 要： | 通过改变反应气体中硅烷体积分数,采用直流偏压辅助等离子体化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积本征氢化纳米硅薄膜.使用拉曼光谱仪、原子力学显微镜和紫外可见光透射仪对薄膜进行测试,研究不同硅烷体积分数对薄膜微结构和光学性能的影响.结果表明:当硅烷体积分数增加,晶粒尺寸增加,而晶态含量却随之下降.晶态含量的降低,使拉曼光谱中谱峰的强度降低,峰位发生蓝移,薄膜有序性随之降低;而且薄膜的光学禁带宽度随硅烷体积分数的增加而增加.当硅烷体积分数为1.3%时,沉积本征氢化纳米硅薄膜,薄膜中晶粒分布均匀,其生长存在取向性.此时晶态含量约为50%,晶粒尺寸约为2.6 nm;薄膜具有较大的光学禁带宽度,为1.702 eV,以及较高的电导率. |
| 关 键 词： | 纳米硅薄膜 晶态含量 晶粒尺寸 光学禁带宽度 电导率 |
Influence of silane content on micro-structure and optical property of nc-Si:H films |
|
| Ding Jianning,Gao Xiaoni,Yuan Ningyi,Cheng Guanggui,Guo Liqiang.Influence of silane content on micro-structure and optical property of nc-Si:H films[J].Journal of Jiangsu University:Natural Science Edition,2010,31(3). | |
| Authors: | Ding Jianning Gao Xiaoni Yuan Ningyi Cheng Guanggui Guo Liqiang |
| Affiliation: | 1.Center of Micro/Nano Science & Technology/a>;Jiangsu University/a>;Zhenjiang/a>;Jiangsu 212013/a>;China/a>;2.Center of Low-dimension Materials/a>;Micro/Nano Device and System/a>;Jiangsu Polytechnic University/a>;Changzhou/a>;Jiangsu 213164/a>;3.Key Laboratory of New Energy Engineering/a>;China |
| Abstract: | The intrinsic hydrogenated nano-crystalline silicon films of varied silane volume fraction have been deposited on the corning 7059 glass substrate by plasma enhanced chemical vapor deposition assisted with direct current bias.By Raman spectrometer,atomic force microscope and ultraviolet-visible transmission spectrometer the effects of the different silane volume fraction on the micro-structure and opticalproperty of films have been studied.The results show that when silane volume fraction increases,the crys... |
| Keywords: | nano-crystalline silicon films crystal content crystalline size optical band-gap conductivity |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
