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| 纳米级超精密定位工作台的研究 | |
| 引用本文： | 张金龙,刘阳,郭怡倩,刘京南,内田敬久.纳米级超精密定位工作台的研究[J].机械工程学报,2011,47(9):187-192. |
| 作者姓名： | 张金龙 刘阳 郭怡倩 刘京南 内田敬久 |
| 作者单位： | 1. 南京师范大学电气与自动化工程学院,南京,210042 2. 东南大学自动化学院,南京,210096 3. 爱知工业大学智能机械工学科,丰田,470-0392,日本 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划;2005AA303610和江苏省自然科学基金 |
| 摘 要： | 研制了一套基于激光莫尔信号的超精密定位工作台,定位台以微型计算机为核心,采用激光莫尔传感器检测位置偏差,通过光、机、电的有机结合,可实现纳米级超精密自动定位.定位装置采用串联型粗、微双驱动的精密定位系统,粗动台由步进电动机通过精密丝杠机构直接驱动,可实现大行程微米级定位,微动台由压电陶瓷驱动器驱动,可实现纳米级定位.针... |
| 关 键 词： | 莫尔信号 纳米定位 神经网络 智能控制 |
Research on Ultra-precision Nanopositioning Stage |
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| ZHANG Jinlong,LIU Yang,GUO Yiqian,LIU Jingnan,UCHIDA Yoshihisa.Research on Ultra-precision Nanopositioning Stage[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2011,47(9):187-192. | |
| Authors: | ZHANG Jinlong LIU Yang GUO Yiqian LIU Jingnan UCHIDA Yoshihisa |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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