| 微机械薄膜变形镜光学影响函数矩阵的测试与研究 |
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| 引用本文： | 陈珂,赵达尊,俞信.微机械薄膜变形镜光学影响函数矩阵的测试与研究[J].高技术通讯,2000,10(9):22-26. |
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| 作者姓名： | 陈珂 赵达尊 俞信 |
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| 作者单位： | 北京理工大学光电工程系,北京,100081 |
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| 基金项目： | 863计划资助项目!( 863 3 0 8 15 4) |
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| 摘 要： | 介绍了微机械薄膜变形镜光学影响函数的理论表达式以及其具有的线性叠架性，对OKO公司的37通道微机薄膜变形 进行了实际测量，得到了光学影响函数矩阵，方便了变形镜实际使用，实验结果验证了理论推导的正确性。
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| 关 键 词： | 自适应光学 微机械薄膜变形镜 光学影响函数 矩阵 测试 |
Measurement and Study for Optical Influence Function Matrix of Micromachined Membrane Deformable Mirrors |
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| Chen Ke,Zhao Dazun,Yu Xin.Measurement and Study for Optical Influence Function Matrix of Micromachined Membrane Deformable Mirrors[J].High Technology Letters,2000,10(9):22-26. |
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| Authors: | Chen Ke Zhao Dazun Yu Xin |
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| Abstract: | The mathematical expressions of the optical influence functions for micromachined membrane deformable mirror and their superposition nature are introduced. Then optical influence function matrix is derived experimentally for a 37 channel micromachined membrane deformable mirror made by OKO Co., Ltd. Experimental results have proved the theoretical analysis. |
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| Keywords: | Adaptive optics Micromachined membrane deformable mirror Optical influence function |
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