| 一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化 |
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| 引用本文： | 黄树森,郭南翔,黄晖,宋朝辉,李欣昕,王跃林.一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化[J].微纳电子技术,2003,40(7):305-308. |
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| 作者姓名： | 黄树森 郭南翔 黄晖 宋朝辉 李欣昕 王跃林 |
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| 作者单位： | 中科院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划项目"集成微光机电系统研究" (G1999033101) |
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| 摘 要： | 给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析模型，本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则。采用SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)工艺给出了传感器的制造和测试结果。
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| 关 键 词： | 微机械 压阻式加速度传感器 设计优化 微粱直拉直压 离子刻蚀 振动频率 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0305-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
A micromachined piezoresistive accelerometer and its design optimization |
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