| 基于新型掺钪氮化铝的级联马赫-曾德尔结构(解)复用器 |
| |
| 引用本文： | 陈心逸,胡超,郑少南,赵兴岩,钟其泽,董渊,胡挺,贾连希,古元冬.基于新型掺钪氮化铝的级联马赫-曾德尔结构(解)复用器[J].半导体光电,2023,44(1):25-31. |
| |
| 作者姓名： | 陈心逸 胡超 郑少南 赵兴岩 钟其泽 董渊 胡挺 贾连希 古元冬 |
| |
| 作者单位： | 上海大学 微电子学院, 上海 201800;上海大学 微电子学院, 上海 201800;上海微技术工业研究院, 上海 201800;中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 上海 200050 |
| |
| 摘 要： | 在新型掺钪(Sc)氮化铝(Al1-xScxN)集成光学平台上设计了插入损耗低、传输通道谱线平坦的O波段四通道波分(解)复用器,并提出了优化方法。所设计的器件结构基于级联马赫-曾德尔干涉仪(MZI)滤波器,结合弯曲波导结构的定向耦合器改善波长敏感度。针对粗波分复用(CWDM)应用的特性,文章使用粒子群算法(PSO)提升器件性能优化的效率,通过调整器件结构的设计参数对四路通道的传输谱线质量进行优化。针对0%,9%,23%的掺Sc浓度,设计的解复用器表现出宽达约15.6nm的1-dB带宽和小于0.1dB的插入损耗,传输谱线呈“盒状”响应,各通道间串扰均优于-30.6dB。
|
| 关 键 词： | 硅光子学 波分复用 马赫-曾德尔干涉仪 掺钪氮化铝 |
| 收稿时间： | 2022/10/27 0:00:00 |
Cascaded Mach-Zehnder Interferometer (De)multiplexers Based on Novel Scandium-doped Aluminum Nitride |
| |
| CHEN Xinyi,HU Chao,ZHENG Shaonan,ZHAO Xingyan,ZHONG Qize,DONG Yuan,HU Ting,JIA Lianxi,GU Yuandong.Cascaded Mach-Zehnder Interferometer (De)multiplexers Based on Novel Scandium-doped Aluminum Nitride[J].Semiconductor Optoelectronics,2023,44(1):25-31. |
| |
| Authors: | CHEN Xinyi HU Chao ZHENG Shaonan ZHAO Xingyan ZHONG Qize DONG Yuan HU Ting JIA Lianxi GU Yuandong |
| |
| Affiliation: | School of Microelectronics, Shanghai University, Shanghai 201800, CHN;School of Microelectronics, Shanghai University, Shanghai 201800, CHN;Shanghai Industrial Micro-Technology Research Institute, Shanghai 201800, CHN;Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology SIMIT, Chinese Academy of Sciences CAS, Shanghai 200050, CHN |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | silicon photonics WDM MZI scandium-doped aluminum nitride |
|
| 点击此处可从《半导体光电》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体光电》下载全文 |
|
