钛合金双极板磁控溅射制备TiC和TiCrC改性镀层的性能

使用非平衡磁控溅射技术,在钛合金表面制备TiC、TiCrC镀层。使用XRD、SEM、划痕实验、电化学和接触电阻分析了镀层的表面质量、耐蚀性能和接触电阻。结果表明:TiC镀层为TiC相,TiCrC镀层包含CrC相和TiC相;两种镀层表面致密,质量良好,膜基结合力强;两种碳化物镀层的腐蚀电流密度相较于钛合金基体均降低了1个数量级;在1.4MPa压力下钛合金基体、TiCrC镀层和TiC镀层的接触电阻分别为60、16.5和20.9mΩ·cm~2。