| 经Al_2O_3与SiO_x钝化的多孔硅及其光致发光特性 |
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| 引用本文： | 刘小兵,熊祖洪,史向华,袁帅,廖良生.经Al_2O_3与SiO_x钝化的多孔硅及其光致发光特性[J].半导体学报,2000,21(1):38-43. |
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| 作者姓名： | 刘小兵 熊祖洪 史向华 袁帅 廖良生 |
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| 作者单位： | 长沙电力学院物理系 长沙 410077,复旦大学应用表面物理国家重点实验室 上海 200433 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;19525410; |
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| 摘 要： | 在一定偏压下用ＡｌＣｌ３＋Ｃ２Ｈ５ＯＨ＋Ｈ２Ｏ混合液对多孔硅进行了后处理．经过处理的多孔硅与未经处理的多孔硅相比，其发光强且稳定．通过对样品进行红外吸收谱的测试和分析，指出在后处理样品表面形成的Ａｌ２Ｏ３与ＳｉＯｘ结构是多孔硅发光增强和稳定性得到提高的原因．
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| 关 键 词： | 多孔硅 光致发光 钝化 Al_2O_3 SiO_x |
| 文章编号： | 0253-4177(2000)01-0008-06 |
| 修稿时间： | 1998年10月13日 |
Surface Passivation of Porous Silicon by SiOx and A12O3 Films |
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| LIU Xiao\|bing\,XIONG Zu\|hong,SHI Xiang\|hua\,YUAN Shuai and LIAO Liang\|sheng.Surface Passivation of Porous Silicon by SiOx and A12O3 Films[J].Chinese Journal of Semiconductors,2000,21(1):38-43. |
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| Authors: | LIU Xiao\|bing\ XIONG Zu\|hong SHI Xiang\|hua\ YUAN Shuai and LIAO Liang\|sheng |
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| Affiliation: | LIU Xiao\|bing\+1,XIONG Zu\|hong,SHI Xiang\|hua\+1,YUAN Shuai and LIAO Liang\|sheng |
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| Abstract: | Bright and stable photoluminescence from porous silicon samples immersed in AlCl\-3+C\-2H\-5OH+H\-2O solution under a certain bias voltage has been obtained. FTIR spectra show that the enhancement and stabilization of the photoluminescence from the treated porous silicon are due to the formation of SiO_x and Al_2O_3 films on the treated sample surfaces. |
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| Keywords: | Porous Silicon PL Passivation Al\-2O\-3 SiO_x |
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