氦质谱检漏法应用研究

对氦质谱检漏法的检漏精度、分辩率、检漏范围以及检测结果的重复性进行了系统研究，阐述了影响检漏精度的可能因素。在真空密封试验台上对石棉橡胶垫片等密封元件的检漏结果表明，该检漏方法的检测精度高、重复性好，特别适用一小泄漏率的精确检测，是压力容密封折理想检漏方法。