| MOCVD的气动控制回路设计 |
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| 引用本文： | 高爱华,刘卫国,张伟,周顺,李岗.MOCVD的气动控制回路设计[J].液压与气动,2006(9):38-40. |
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| 作者姓名： | 高爱华 刘卫国 张伟 周顺 李岗 |
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| 作者单位： | 西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032 |
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| 摘 要： | 介绍了MOCVD（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）液态源金属有机物化学气相沉积设备，研究设计了基于PLC和触摸屏的全自动气动控制回路，实现了对装置中气动元件的自动控制。该方法提高了MOCVD设备的自动化控制水平和安全可靠性，确保了工艺的重复性和稳定性。
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| 关 键 词： | 气动控制 气缸 可编程控制器 |
| 文章编号： | 1000-4858(2006)09-0038-03 |
| 收稿时间： | 2006-03-26 |
| 修稿时间： | 2006年3月26日 |
Design of Pneumatic Control for MOCVD |
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| GAO Ai-hua,LIU Wei-guo,ZHANG Wei,ZHOU Shun,LI Gang.Design of Pneumatic Control for MOCVD[J].Chinese Hydraulics & Pneumatics,2006(9):38-40. |
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| Authors: | GAO Ai-hua LIU Wei-guo ZHANG Wei ZHOU Shun LI Gang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MOCVD |
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