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电泳沉积法制备Ba0.6Sr0.4TiO3厚膜及介电性能研究
引用本文:王希林,薛昊,周和平.电泳沉积法制备Ba0.6Sr0.4TiO3厚膜及介电性能研究[J].稀有金属材料与工程,2007,36(A01):935-938.
作者姓名:王希林  薛昊  周和平
作者单位:清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084
基金项目:国家自然科学基金(50572050)资助
摘    要:采用溶胶凝胶法制备了钛酸锶钡超细粉体,在纯乙醇中配制成悬浮液,利用电泳沉积技术在印刷铂的氧化铝基板上沉积得到了BST厚膜。通过控制悬浮液中粉体的浓度和超声振荡实现了悬浮液的稳定。电泳沉积过程中通过改变电压和沉积时间研究了厚膜质量和厚膜的厚度。利用扫描电子显微镜(SEM)观察了沉积物的微观结构形貌,对沉积质量进行了对比研究。实验结果表明,当外加电场强度为20V/cm,沉积时间为30s时得到的厚膜表面质量较好,厚度适合。实验发现1200℃烧结温度得到的厚膜致密度较好。X射线衍射分析(XRD)图谱表明烧结后得到的BST厚膜具有典型的钙钛矿结构。对厚膜的介电性能测试发现,BST厚膜有一定的介电性能,展示了BST材料的非线性特性。

关 键 词:电泳沉积  BST厚膜  介电性能
文章编号:1002-185X(2007)S1-0935-04
修稿时间:2007-02-28

Fabrication of Ba0.6Sr0.4TiO3 Ceramic Thick Film by Electrophoretic Deposition Process
Wang Xili, Xue Hao, Zhou Heping.Fabrication of Ba0.6Sr0.4TiO3 Ceramic Thick Film by Electrophoretic Deposition Process[J].Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(A01):935-938.
Authors:Wang Xili  Xue Hao  Zhou Heping
Affiliation:State Key Laboratory of New Ceramics and Fine Processing, Tsinghua University, Beijing 100084, China
Abstract:
Keywords:electrophoretic deposition  thick films  Ba0  6Sr0  4TiO3  tunable
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