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| 电子束曝光制作全息图的误差分析及其修正方法 | |
| 引用本文： | 余东校,严瑛白,金国藩.电子束曝光制作全息图的误差分析及其修正方法[J].微细加工技术,1985(3). |
| 作者姓名： | 余东校 严瑛白 金国藩 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器系 (余东校，严瑛白)，清华大学精密仪器系(金国藩) |
| 摘 要： | 本文分析了电子束曝光制作全息图的各种误差,提出了一种扫描矩形光栅来测量误差的方法,并通过设置误差修正程序来加以修正。最后,通过微分滤波器的实验说明了这种误差修正法的潜力。 |
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