| 甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响 |
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| 引用本文： | 代明江,宋进兵,周克崧,戴达煌,刘正义,瞿全炎.甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响[J].材料研究与应用,2002,12(1):17-20. |
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| 作者姓名： | 代明江 宋进兵 周克崧 戴达煌 刘正义 瞿全炎 |
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| 作者单位： | 1. 广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心,广东,广州,510651
2. 华南理工大学,广东,广州,510650 |
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| 基金项目： | 广东省广州市基础科学基金，98-J-014-01， |
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| 摘 要： | 以甲烷为碳源气体,用直流等离子射流法制备了金刚石膜.研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响.结果表明,在甲烷浓度φ(CH4)为1.5%时,可以获得较高热导率的金刚石膜.
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| 关 键 词： | 甲烷 金刚石膜 表面形貌 热导率 |
| 文章编号： | 1003-7837(2002)01-0017-04 |
| 修稿时间： | 2002年1月16日 |
Effect of methane concentration on morphologies and thermal conductivity of diamond films |
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