| 一种基于压电薄膜逆压电效应的新型集成微镜 |
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| 引用本文： | 娄利飞,杨银堂,汪家友,毕发社.一种基于压电薄膜逆压电效应的新型集成微镜[J].压电与声光,2007,29(1):29-32. |
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| 作者姓名： | 娄利飞 杨银堂 汪家友 毕发社 |
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| 作者单位： | 1. 西安电子科技大学,微电子所宽禁带半导体材料与器件教育部重点试验室,陕西西安,710071
2. 西安通信学院,军事综合信息网教研室,陕西西安,710106 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;武器装备预研基金 |
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| 摘 要： | 设计了一种采用锆钛酸铅(PZT)压电薄膜悬臂梁作为驱动机理的500μm×500μm微镜结构。该微镜主要由4个悬臂梁与1个反射镜组成,4个悬臂梁起支撑微镜的作用,即微镜主要利用微悬臂梁自由端头的小挠度来实现垂直方向的位移。提出了与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺相兼容的制作方法,利用有限元软件ANSYS7.0对压电微镜的反射镜平整度、结构机械强度、线性度、响应速度和功耗等性能进行了研究,并与数值计算结果进行了比较,结果表明此微镜达到了快速、高精度、低功耗的设计要求。
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| 关 键 词： | 微镜 有限元模拟 压电薄膜 |
| 文章编号： | 1004-2474(2007)01-0029-04 |
| 修稿时间： | 2005-09-02 |
A Novel Integrated Micro-mirror Based on Piezoelectric Thin Film Converse Piezoelectric Effects |
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| LOU Li-fei,YANG Yin-tang,WANG Jia-you,BI Fa-she.A Novel Integrated Micro-mirror Based on Piezoelectric Thin Film Converse Piezoelectric Effects[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2007,29(1):29-32. |
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| Authors: | LOU Li-fei YANG Yin-tang WANG Jia-you BI Fa-she |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-mirror finite element analysis(FEA) piezoelectric thin film |
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