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| 激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用 | |
| 引用本文： | 潘开林,陈子辰,傅建中.激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用[J].制造技术与机床,2002(3):5-7. |
| 作者姓名： | 潘开林 陈子辰 傅建中 |
| 作者单位： | 1. 浙江大学生产工程研究所桂林电子工业学院,310027 2. 桂林电子工业学院 3. 浙江大学生产工程研究所 |
| 摘 要： | 文章综述了当前MEMS各类微制造技术，阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点，主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等，以及它们在MEMS微制造中的应用。 |
| 关 键 词： | 激光微细加工 微机电系统 激光LIGA 微细立体光刻 微制造 |
| 修稿时间： | 2001年11月26 |
Laser Micromachining and Its Application in the Microf abrication of MEMS |
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