| 基于大口径光学非球面精密磨削过程的检测技术研究 |
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| 引用本文： | 张学忱,聂凤鸣,吴庆堂,曹国华.基于大口径光学非球面精密磨削过程的检测技术研究[J].制造业自动化,2012(22):45-49. |
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| 作者姓名： | 张学忱 聂凤鸣 吴庆堂 曹国华 |
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| 作者单位： | 长春理工大学机电工程学院;长春工艺技术研究所 |
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| 摘 要： | 中大口径非球面光学元件的铣磨-精密磨削-快速抛光-超精密抛光的高精度、高效加工工艺技术是目前国内外学者研究的重点,精密磨削加工中的光学元件磨削面形在位检测技术是保证加工-检测-补偿、再加工-再检测-再补偿的关健技术。本文通过分析精密磨削的在位检测原理、方案、检测路径规划,提出了一种适合轴对称非球面精密磨削的电感式在位接触检测装置和自适应卡尔曼滤波数据处理方法,可有效剔除奇异项,给出数据预平滑处理的路径,通过Gauss-Newton非线性最小二乘法和NUEBS曲线法进行曲线拟合试验,给出了更利于补偿加工的曲线拟合方法,取得数控补偿合理参数,实现加工快速收敛,最大限度逼近实际加工面形。实验结果表明基于在位检测的随机误差标准差,经滤波后减少了1/3,验证了其在位检测技术结果的可行性,提高了磨削加工中的测量效率与测量精度。
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| 关 键 词： | 精密磨削 轴对称非球面 在位检测 误差补偿 |
The study on testing technology based on axisymmetric aspheric surface precision grinding process |
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| ZHANG Xue-chen,NIE Feng-ming,WU Qing-tang,CAO Guo-hua.The study on testing technology based on axisymmetric aspheric surface precision grinding process[J].Manufacturing Automation,2012(22):45-49. |
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| Authors: | ZHANG Xue-chen NIE Feng-ming WU Qing-tang CAO Guo-hua |
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