| 采用神经网络控制的超精密平面定位 |
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| 引用本文： | 张金龙,余玲玲,内田敬久,刘京南.采用神经网络控制的超精密平面定位[J].光电工程,2005,32(1):5-8. |
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| 作者姓名： | 张金龙 余玲玲 内田敬久 刘京南 |
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| 作者单位： | 南京师范大学,电气与电子工程学院,江苏,南京,210042;东南大学,自动控制系,江苏,南京,210096;东南大学,自动控制系,江苏,南京,210096;日本爱知工业大学情报工学科,爱知,丰田,470-0392,日本 |
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| 基金项目： | 江苏省高校自然科学基金 |
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| 摘 要： | 设计了一种基于激光莫尔信号的超精密平面定位装置,该装置可实现高精度位置检测及X-Y-θ 三自由度的全自动精密平面定位。激光莫尔信号传感器为相位相差 180°的两组衍射光栅,构成差动光栅技术,可有效提高位置检测信号灵敏度及定位精度。针对系统存在非线性,精确控制模型难以建立的缺陷,提出基于 RBF 神经网络的精密定位控制,其控制响应快、稳定性好、鲁棒性强,可有效改善控制质量,提高定位速度。实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密定位装置可获得亚微米级的平面定位精度。
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| 关 键 词： | 莫尔信号 精密定位 神经网络 智能控制 |
| 文章编号： | 1003-501X(2005)01-0005-04 |
| 收稿时间： | 2004/6/2 |
| 修稿时间： | 2004年6月2日 |
Ultra-precision plane positioning with neural network control |
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| ZHANG Jin-long,YU Ling-ling,YOSHIHISA Uchida,LIU Jing-nan.Ultra-precision plane positioning with neural network control[J].Opto-Electronic Engineering,2005,32(1):5-8. |
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| Authors: | ZHANG Jin-long YU Ling-ling YOSHIHISA Uchida LIU Jing-nan |
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| Affiliation: | ZHANG Jin-long1,YU Ling-ling2,YOSHIHISA Uchida3,LIU Jing-nan2 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Moire signals Precision position Neural networks Intelligent control |
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