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| MeV重离子轰击引起金属膜抗蚀性的研究 | |
| 引用本文： | 刘正民,杨坤山,杨化中,裘元勋.MeV重离子轰击引起金属膜抗蚀性的研究[J].真空,1989(4). |
| 作者姓名： | 刘正民 杨坤山 杨化中 裘元勋 |
| 作者单位： | 兰州大学现代物理系 (刘正民，杨坤山，杨化中)，兰州大学现代物理系(裘元勋) |
| 摘 要： | 对以Ｎ型硅为基底的 Ｃｕ、Ｓｎ和 Ａｕ膜用能量 ２．０～４．５ＭｅＶ的 Ｃｌ＋＋离子进行了 轰击。酸液浸泡实验表明，当 ＣＩ＋＋离子注入剂量达到 ５×１０１５／ｃｍ２时，轰击区薄膜耐酸腐蚀能力发生突变。对这种突变的原因给出了一种初步的、定性的解释。 |
| 关 键 词： | 薄膜 耐腐蚀性 |
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