| 二维纳米激光测量系统的研究 |
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| 引用本文： | 齐永岳,赵美蓉,林玉池.二维纳米激光测量系统的研究[J].纳米技术与精密工程,2004,2(4):257-260. |
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| 作者姓名： | 齐永岳 赵美蓉 林玉池 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50105016). |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的纳米级精度的二维激光干涉测量系统．该系统以光学8倍频的耦合差动式干涉光路为基础，在获取大量测量数据的基础上，利用线性回归的方法对测量结果进行处理．系统结构设计简洁紧凑，符合阿贝原则和结构变形最小原则，与普通的迈克尔逊干涉仪相比具有光路布局对称性好，光程差倍增，抗干扰能力强等优点．通过与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测．结果表明，该干涉测量系统的精度为10～12nm．
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| 关 键 词： | 差动式 纳米级精度 倍频 紧凑 系统结构设计 量测 抗干扰能力 二维 光程差 迈克尔逊干涉仪 |
| 文章编号： | 1672-6030(2004)04-0257-04 |
| 修稿时间： | 2004年10月16 |
A Study on the Technology of 2-D Laser Measuring System with Nanometer Accuracy |
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| QI Yong-yue,ZHAO Mei-rong,LIN Yu-chi.A Study on the Technology of 2-D Laser Measuring System with Nanometer Accuracy[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2004,2(4):257-260. |
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| Authors: | QI Yong-yue ZHAO Mei-rong LIN Yu-chi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanometer accuracy laser interf erometer displacement measurement coupled difference |
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