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| 基于聚二甲基硅氧烷微米结构的柔性单电极摩擦纳米发电机 | |
| 引用本文： | 张满,山程,夏良平,党随虎,曾梦婷,杜春雷.基于聚二甲基硅氧烷微米结构的柔性单电极摩擦纳米发电机[J].微纳电子技术,2022(1):44-49. |
| 作者姓名： | 张满 山程 夏良平 党随虎 曾梦婷 杜春雷 |
| 摘 要： | 摩擦纳米发电机已经广泛用于日常生活中收集各种机械能并转换为电能,作为触摸屏和智能皮肤技术的自供能传感系统.为了提高能量转换效率,设计了一种单电极的摩擦纳米发电机(S-TENG).将表面含有微米尺度浮雕结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为S-TENG的摩擦层,一层厚度为20 nm的铟锡氧化物膜作为电极层,通过外部电路可以... |
| 关 键 词： | 摩擦纳米发电机(TENG) 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 微米结构 浮雕结构 传感系统 |
