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| T形结构在位测量薄膜中残余张应力的理论研究 | |
| 引用本文： | 徐方迁,徐联,何世堂.T形结构在位测量薄膜中残余张应力的理论研究[J].半导体学报,2004,25(5). |
| 作者姓名： | 徐方迁 徐联 何世堂 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院声学研究所,北京,100080;华北科技学院电子信息工程系,北京,101601 2. 中国科学院声学研究所,北京,100080 |
| 基金项目： | 中国科学院知识创新工程项目 |
| 摘 要： | 给出了考虑梁的轴向载荷情况下理论计算公式的推导过程,在变形较大时两种公式计算结果最大相差9.65%.用LPCVD技术制作了几种大小不同的T形梁结构,给出了残余张应力与杨氏模量比值. |
| 关 键 词： | 应力 膜 变形 |
Study of In Situ Measurement of Residual Tensile Stress in Thin Films for T-Shaped Microstructures |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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