| GaN薄膜制备技术的研究进展 |
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| 引用本文： | 赵丹,梁建,赵君芙,马淑芳,张华,许并社.GaN薄膜制备技术的研究进展[J].材料导报,2010,24(Z1). |
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| 作者姓名： | 赵丹 梁建 赵君芙 马淑芳 张华 许并社 |
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| 作者单位： | 太原理工大学新材料界面科学与工程省部共建教育部重点实验室,太原,030024;太原理工大学材料,科学与工程学院,太原,030024 |
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| 基金项目： | 山西省自然科学基金，山西省回国留学人员科研资助项目 |
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| 摘 要： | 综述了近年来国内外GaN薄膜制备技术的研究进展,并重点介绍了其发展历程、所使用的设备和技术、各自的优缺点及应用前景.通过比较这些技术的优缺点展望了制备GaN薄膜技术的发展前景.
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| 关 键 词： | GaN薄膜 制备技术 研究进展 |
Research Development on Deposition Technologies of GaN Thin Films |
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| ZHAO Dan,LIANG Jian,ZHAO Junfu,MA Shufan,ZHANG Hua,XU Bingshe.Research Development on Deposition Technologies of GaN Thin Films[J].Materials Review,2010,24(Z1). |
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| Authors: | ZHAO Dan LIANG Jian ZHAO Junfu MA Shufan ZHANG Hua XU Bingshe |
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