| 浸渍-涂布法制备In2O3薄膜 |
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| 引用本文： | 王廷富,潘庆谊,金永林,张剑平,程知萱.浸渍-涂布法制备In2O3薄膜[J].功能材料与器件学报,2002,8(3):243-246. |
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| 作者姓名： | 王廷富 潘庆谊 金永林 张剑平 程知萱 |
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| 作者单位： | 上海大学理学院,上海200436 |
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| 摘 要： | 以InCl3@4H2O为原料,采用溶胶-凝胶技术、浸渍-涂布法制备了In2O3薄膜.同时对薄膜厚度与In2O3含量、涂布液粘度以及提拉速度等关系进行研究,发现薄膜厚度与涂布液粘度、提拉速度成对数线性关系.膜厚与提拉速度的关系式为t≈v0.62.XRD、IR测试表明经过400℃煅烧,PVA已经完全排除.SEM照片表明薄膜形貌平整、光亮,从而为该种材料制作实用的气敏元件打下了良好的基础.
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| 关 键 词： | 溶胶－凝胶 浸渍－涂布 薄膜 氧化铟 制备 |
| 文章编号： | 1007-4252(2002)03-0243-04 |
| 修稿时间： | 2001年9月18日 |
Preparation of In2O3 thin film by dip- coating method |
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| WANG Ting -fu,PAN Qing -yi,JIN Yong -lin,ZHANG Jian -ping,CHENG Zhi -xuan.Preparation of In2O3 thin film by dip- coating method[J].Journal of Functional Materials and Devices,2002,8(3):243-246. |
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| Authors: | WANG Ting -fu PAN Qing -yi JIN Yong -lin ZHANG Jian -ping CHENG Zhi -xuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol -gel dip -coating thin film i ndium oxide |
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