| 16×16纳米陶瓷/聚合物复合敏感膜热释电面阵研制 |
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| 引用本文： | 李金华,袁宁一,陈王丽华.16×16纳米陶瓷/聚合物复合敏感膜热释电面阵研制[J].红外技术,2003,25(3):45-48. |
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| 作者姓名： | 李金华 袁宁一 陈王丽华 |
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| 作者单位： | 1. 江苏工业学院,信息科学系功能材料实验室,江苏,常州,213016
2. 香港理工大学,应用物理系及材料研究中心,香港,九龙 |
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| 摘 要： | 用三维集成CMOS工艺研制了 16× 16有机 /无机复合敏感膜红外热释电面阵。用掺钙和镧的钛酸铅 (PCLT)纳米粉粒与聚偏氟乙烯 三氟乙烯 P(VDF TrFE) ]均匀复合 ,作面阵的敏感膜。用PMOS场效应管作热释电元件的阻抗转换 ,用双 16位移位寄存器作敏感元件信号读出的选址。用 6μm厚的聚烯亚胺薄膜作为热释电面阵与CMOS读出电路间的热隔离。用 4 0nm厚的Ni Cr膜作面阵的上电极及吸收层。测得该面阵单元在 6 0 0Hz下探测率峰值为 2 .6× 10 7cmHz1/2 /W。
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| 关 键 词： | 红外成像 热释电阵列 复合敏感膜 |
| 文章编号： | 1001-8891(2003)03-0045-04 |
| 修稿时间： | 2002年12月2日 |
Prepartion of 16×16 Pyroelectric Array with PCLT/P(VDF-TrFE) Sensing Film |
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| LI Jin hua ,YUAN Ning yi ,H.L.W. CHEN.Prepartion of 16×16 Pyroelectric Array with PCLT/P(VDF-TrFE) Sensing Film[J].Infrared Technology,2003,25(3):45-48. |
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| Authors: | LI Jin hua YUAN Ning yi HLW CHEN |
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| Affiliation: | LI Jin hua 1,YUAN Ning yi 1,H.L.W. CHEN 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | infrared imaging pyroelectric array homogenous sensing film |
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