| 基于MS3110的差分电容检测方法研究及其电磁兼容性设计 |
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| 引用本文： | 徐平,张勇,侯占强,江平.基于MS3110的差分电容检测方法研究及其电磁兼容性设计[J].仪表技术与传感器,2008(5). |
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| 作者姓名： | 徐平 张勇 侯占强 江平 |
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| 作者单位： | 1. 海军电磁兼容研究检测中心,上海,200235
2. 国防科学技术大学,湖南长沙,410073 |
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| 摘 要： | 介绍了电容检测芯片MS3110的内部结构与基本原理,设计了MS3110的参数设置电路与程序,并利用MS3110设计了莱插齿式电容微加速度计的信号检测电路,并对检测电路的电磁兼容性进行了专门设计,在转台上对该微加速度计的性能进行了测试,测试结果表明:该微加速度计的测量线性度为1.3%,刻度因子为0.185 V/g.
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| 关 键 词： | 微加速度计 微机电系统 电磁兼容性 调制 解调 差分电容 检测方法 研究 电磁兼容性 兼容性设计 Design Based Differential Capacitance Detection 刻度因子 线性度 测量 测试结果 性能 转台 专门设计 信号检测电路 微加速度计 插齿 利用 |
Research on Detection of Differential Capacitance Based on MS3110 and EMC Design |
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| XU Ping,ZHANG Yong,HOU Zhan-qiang,JIANG Ping.Research on Detection of Differential Capacitance Based on MS3110 and EMC Design[J].Instrument Technique and Sensor,2008(5). |
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| Authors: | XU Ping ZHANG Yong HOU Zhan-qiang JIANG Ping |
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