首页 | 官方网站   微博 | 高级检索  
     

低介电常数陶瓷复合基板材料
引用本文:田民波,梁彤翔.低介电常数陶瓷复合基板材料[J].半导体情报,1995,32(6):7-13.
作者姓名:田民波  梁彤翔
摘    要:复合陶瓷材料具有较低的介电常数,可与Cu、Ag导体共烧得到多层基板。这种基板适合于LSI高速、高集成度的要求。本文介绍了复合陶瓷基板材料的特征及降低介电常数的措施。

关 键 词:陶瓷  玻璃  介电常数  复合基板
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司    京ICP备09084417号-23

京公网安备 11010802026262号