| 基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟 |
| |
| 引用本文： | 吴峻苗,邹德恕,徐晨,沈光地.基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟[J].仪器仪表学报,2004,25(Z1):416-417. |
| |
| 作者姓名： | 吴峻苗 邹德恕 徐晨 沈光地 |
| |
| 作者单位： | 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京,100022 |
| |
| 基金项目： | 本文系国家自然科学基金(69976004),北京市教委(KM200310005009)资助项目. |
| |
| 摘 要： | 提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成.通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号.建立了符合器件工作机制的物理模型,并通过有限元模型和流体-热-结构耦合模拟获得了微型腔体内气体介质的温度、速度场分布以及弹性薄膜的形变.
|
| 关 键 词： | 微机械 气动式红外探测器 流体-热-结构耦合 |
Simulation of Pneumatic Infrared Sensor Based on MEMS Technology |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
