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铁基巨磁阻抗薄膜的研究
引用本文:徐东,吕霞,戚震中.铁基巨磁阻抗薄膜的研究[J].真空科学与技术学报,2000,20(6):401403.
作者姓名:徐东  吕霞  戚震中
作者单位:上海交通大学信息存储研究中心,上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室!上海200030
摘    要:溅射方法制备的非晶Fe68Cu0 .5Cr4 V5Si13 .5B9薄膜 ,通过适宜的退火处理得到具有纳米α Fe(Si)和非晶母相的混合结构和最佳的软磁性能 ,相应的巨磁阻抗值最高可达 72 %。本文着重研究了热处理条件、薄膜组织结构、软磁性能以及驱动电流频率对Fe68Cu0 .5Cr4 V5Si13 .5B9薄膜磁致阻抗的影响。

关 键 词:巨磁阻抗效应  退火热处理  Fe_(68)Cu_(0.5)Cr_4V_5Si_(13.5)B_9薄膜
修稿时间:2000-02-17

Studies of Giant Magneto-impedance of Fe-based Thin Films
Abstract:
Keywords:Giant magneto  impedance effects  Annealing treatment  Fe_(68)Cu_(0  5)Cr_4V_5Si_(13  5)B_9thin films
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