| 用于非金属目标非接触位置检测的单片式电容传感器 |
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| 引用本文： | 郑志敏,丁天怀.用于非金属目标非接触位置检测的单片式电容传感器[J].清华大学学报(自然科学版),2003,43(2):172-174. |
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| 作者姓名： | 郑志敏 丁天怀 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50175056) |
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| 摘 要： | 利用印刷电路板加工工艺研制成了一种适于非金属目标位置检测的单片式电容传感器,工作原理是金属电极的近场效应。研究了传感器的阻抗频率特性以及传感器工作频率与检测系统灵敏度的关系,得到了使检测系统灵敏度最大的工作频率(1MHz)。用该传感器对36g/m2的胶片和10mm厚的玻璃体两种非金属目标位置进行检测。结果表明:在0.1mm量程内,检测系统的线性较好;在0.2mm量程内,非线性也不超过16.5%。
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| 关 键 词： | 电容传感器 印刷电路板 位置检测 阻抗频率特性 |
| 文章编号： | 1000-0054(2003)02-0172-03 |
| 修稿时间： | 2002年3月25日 |
Single-chip capacitance sensor for measuring the positions of nonmetallic objects |
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| ZHENG Zhimin,DING Tianhuai.Single-chip capacitance sensor for measuring the positions of nonmetallic objects[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2003,43(2):172-174. |
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| Authors: | ZHENG Zhimin DING Tianhuai |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | printed circuit board (PCB) capacitance sensor position measurement impedance-frequency performance |
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