TFT-LCD玻璃基板板面划伤管控措施

液晶玻璃基板生产过程中会产生各种板面缺陷，划伤为其代表性一种，这类缺陷与制造过程中所接触的设备零部件及介质有很大关联。为保证高品质玻璃基板产品，通过对TFT-LCD玻璃基板板面划伤产生机理分析、发生的风险识别，重点进行玻璃基板接触设备零部件及介质所引发板面划伤评估，制定相关的应对措施。摸索出了适合板面高品质要求的玻璃基板生产设备管控措施，达到了有效降低玻璃基板划伤产生的目的。