| 基于ZnO多层结构的声表面波高频器件分析设计 |
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| 引用本文： | 郭欣榕,谭秋林,李博.基于ZnO多层结构的声表面波高频器件分析设计[J].电视技术,2021,45(5):120-124. |
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| 作者姓名： | 郭欣榕 谭秋林 李博 |
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| 作者单位： | 中北大学 仪器与电子学院,山西 太原 030000;电子测试技术国防科技重点实验室,山西 太原 030051 |
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| 摘 要： | 通过有限元仿真,分析基于ZnO/Diamond不同复合结构的声表面波传播特性,包括机电耦合系数、声表面波波速以及温度敏感系数等,同时分析电极厚度对机电耦合系数的影响机理,为适用于不同场合的高频器件的优化设计提供思路,对基于ZnO/Diamond不同复合结构的声表面波器件的设计具有指导意义.
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| 关 键 词： | 声表面波 有限元仿真 ZnO压电薄膜 金刚石 |
Analysis and Design of Surface Acoustic Wave High Frequency Devices Based on ZnO Multilayer Structure |
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| GUO Xinrong,TAN Qiulin,LI Bo.Analysis and Design of Surface Acoustic Wave High Frequency Devices Based on ZnO Multilayer Structure[J].Tv Engineering,2021,45(5):120-124. |
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| Authors: | GUO Xinrong TAN Qiulin LI Bo |
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