| 一种量化的激光位移传感器倾角误差补偿模型 |
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| 引用本文： | 孙彬,李兵.一种量化的激光位移传感器倾角误差补偿模型[J].仪器仪表学报,2015,36(5):996-1004. |
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| 作者姓名： | 孙彬 李兵 |
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| 作者单位： | 西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室西安710049 |
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| 基金项目： | 国家973计划（2013CB035704）、国家自然科学基金面上项目（51275398）、陕西省科技统筹创新工程计划重大科技成果转化引导专项（2013KTCG01 15）项目资助 |
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| 摘 要： | 激光位移传感器具有非接触、测量范围大、测量效率高等优点,广泛应用于精密检测领域。然而,倾角误差是影响激光位移传感器测量精度的主要因素之一,为了提高激光位移传感器的测量精度,有必要对其进行分析研究,推导出能够在工程中应用的可量化的倾角误差补偿模型。首先从激光三角法测量原理开始,深入分析了激光光束的光路和光强损失的原因,然后根据光路的几何特征建立了物像方程,从倾角误差机理推导出一种可量化的误差模型,最后用激光干涉仪和正弦规在四坐标测量仪上。对激光位移传感器进行了倾角误差实验,把测量得到的数据经误差模型修正后,可以将传感器的测量精度控制在10μm以内。结果表明,所提出的倾角误差模型准确有效,在对复杂曲面的测量应用中,具有一定的使用和推广价值。
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| 关 键 词： | 误差补偿 三角法测量原理 激光位移传感器 激光干涉仪 |
A quantitative error compensation model of the inclination
angle of the laser displacement sensor |
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| Sun Bin,Li Bing.A quantitative error compensation model of the inclination
angle of the laser displacement sensor[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2015,36(5):996-1004. |
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| Authors: | Sun Bin Li Bing |
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