| PZT薄膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 陈菊芳,刘常升,陈岁元,张滨,尚丽娟.PZT薄膜的研究进展[J].材料与冶金学报,2002,1(2):83-86,135. |
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| 作者姓名： | 陈菊芳 刘常升 陈岁元 张滨 尚丽娟 |
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| 作者单位： | 1. 东北大学,材料与冶金学院,辽宁,沈阳,110004
2. 东北大学,材料与冶金学院,辽宁,沈阳,110004;沈阳工业大学,材料科学与工程学院,辽宁,沈阳,110023 |
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| 摘 要： | 综述了PZT薄膜的制备方法，从电极，微观结构和化学成分，生长方向，多层膜结构以及机械应力对性能的影响五个方面介绍了PZT薄膜的研究进展，提出了PZT薄膜存在的主要问题和发展方向。
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| 关 键 词： | 研究进展 压电性 钙钛矿结构 热电性 烧绿石 外延生长 PZT薄膜 压电陶瓷 |
| 文章编号： | 1671-6620-(2002)02-0083-04 |
Research Progress in PZT Thin Films |
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| CHEN Ju fang ,LIU Chang sheng ,CHEN Sui yuan ,ZHANG Bin ,SHANG Li juan.Research Progress in PZT Thin Films[J].Journal of Materials and Metallurgy,2002,1(2):83-86,135. |
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| Authors: | CHEN Ju fang LIU Chang sheng CHEN Sui yuan ZHANG Bin SHANG Li juan |
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| Affiliation: | CHEN Ju fang 1,LIU Chang sheng 1,CHEN Sui yuan 1,ZHANG Bin 1,SHANG Li juan 1,2 |
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| Abstract: | The fabrications of PZT thin films are discussed. The research progress in PZT thin films are introduced from five aspects: electrodes, microstructure and stoichiometry, growth orientation, multilayers structure and effect of external stress on properties.The main problems and directions of development in PZT thin films are presented |
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| Keywords: | piezoelectric perovskite pyroelectric pyrochlore epitaxy growth PZT thin film |
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