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P〈111〉硅磨片表现损伤的研究
引用本文：刘峥,翟富义.P〈111〉硅磨片表现损伤的研究[J].稀有金属,1997,21(2):139-143.
作者姓名：刘峥  翟富义
摘    要：
关 键 词：硅片  损伤层  位错  单晶硅  表面损伤
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